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【2h】

MEMS stage integrated with microlens arrays for high-resolution beam steering

機(jī)譯：集成了微透鏡陣列的MEMS平臺(tái)用于高分辨率光束轉(zhuǎn)向

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摘要

A novel micromechanical stage with a uniaxial set of combfingers capable of 2D actuation is designed and developed. Driven at resonance the stage deflects up to 108 mu m out-of-plane and 102 mu m in-plane, with 140V and 94V peak-to-peak actuation voltage, respectively.
機(jī)譯：設(shè)計(jì)并開(kāi)發(fā)了一種新型的微機(jī)械平臺(tái)，該平臺(tái)具有能夠進(jìn)行2D驅(qū)動(dòng)的單軸精梳機(jī)。在共振的驅(qū)動(dòng)下，該平臺(tái)可在平面外偏轉(zhuǎn)高達(dá)108μm，在平面內(nèi)偏轉(zhuǎn)高達(dá)102μm，分別具有140V和94V的峰峰值驅(qū)動(dòng)電壓。

著錄項(xiàng)

  • 作者

    G?k?e, Sertan Kutal; Hibert, Cyrille;

  • 作者單位
  • 年度 2017
  • 總頁(yè)數(shù)
  • 原文格式 PDF
  • 正文語(yǔ)種 English
  • 中圖分類(lèi)

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